В Китаї створили електронний мікроскоп з роздільною здатністю 0,1 нм, щоб заглядати в передові чіпи

Китай навчився виробляти електронні мікроскопи, здатні розрізняти деталі розміром у частки нанометра. Компанія CIQTEK представила просвічуючий мікроскоп TEM-F200, який допоможе вивчати структуру передових мікросхем і виявляти найменші дефекти. Розробка власних приладів такого класу — ще один крок Китаю до зменшення залежності від закордонного обладнання.

Джерело зображень: CIQTEK

Так, у минулі вихідні китайська компанія CIQTEK представила просвічуючий електронний мікроскоп TEM-F200, розрахований на прискорювальну напругу 200 кВ. Прилад здатний досягати цифрового межі роздільної здатності 0,1 нм, тоді як його точкова роздільна здатність становить 0,25 нм. Це означає, що безпосередньо можна побачити два об'єкти на відстані 0,25 нм і за допомогою цифрової обробки витягти дані про зразок з кроком 0,1 нм.

Просвічуючий електронний мікроскоп формує зображення, пропускаючи потік електронів через тонкий зразок. Детектори реєструють пройдені, розсіяні та дифраговані електрони, що дозволяє досліджувати кристалічну структуру матеріалів, межі між шарами та мікроскопічні дефекти. Прискорювальна напруга 200 кВ забезпечує електронам високу енергію і дозволяє досліджувати досить щільні зразки певної товщини, не руйнуючи їх. Для роботи з напівпровідниками та новими матеріалами це важливо при аналізі структури мікросхем і пошуку причин виробничих дефектів.

Оптична роздільна здатність мікроскопів не може бути нижчою за 250 нм. Електронна мікроскопія, вперше реалізована німецькими вченими без малого 100 років тому, дозволяє заглянути ще глибше всередину речовини та біологічних тканин, аж до візуалізації вірусів і окремих молекул.

Розробка TEM-F200 — частина зусиль Китаю щодо зменшення залежності від імпортного наукового обладнання. Окрім виробництва напівпровідників, такі мікроскопи застосовуються в матеріалознавстві, біомедичних дослідженнях і контролі якості продукції. За словами CIQTEK, компанія самостійно розробила ключові модулі, керуюче та аналітичне програмне забезпечення, а також систему інтеграції приладу. За її словами, мікроскоп готовий до масового виробництва та відправки замовникам.

Це не єдина компанія в Китаї, яка розробляє просвічуючі електронні мікроскопи. У 2024 році науково-дослідний інститут Bioland Laboratory, що базується в Гуанчжоу, створив першу в країні комерційну модель просвічуючого електронного мікроскопа (ПЕМ) з польовою емісією TH-F120 і енергією пучка 120 кВ. Модель виробляється та продається компанією CIQTEK. Інший розробник — компанія Suzhou Bozhon Instrument Technology — у 2025 році представила першу в Китаї комерційну модель ПЕМ з пучком 200 кВ (BZ-F200).

Крім того, у травні 2026 року Китайська академія наук анонсувала платформу Aeye-1 на базі просвічуючого електронного мікроскопа, назвавши її першою у світі системою, керованою штучним інтелектом.

Водночас найкращими у світі за точковою роздільною здатністю вважаються просвічуючі електронні мікроскопи американської компанії Thermo Fisher Scientific, які забезпечують роздільну здатність 0,08–0,078 нм. Також до числа найкращих належать японські електронні мікроскопи компаній JEOL і Hitachi.

Хочеш дізнатися більше — читай відгуки