В США разработана новая технология производства нанометровых полупроводников

16 февраля 2020

Дальнейшее развитие микроэлектроники невозможно представить без совершенствования технологий производства полупроводников. Чтобы расширить границы и научиться выпускать всё более мелкие элементы на кристаллах нужны новые технологии и новые инструменты. Одной из таких технологий может стать прорывная разработка американских учёных.

Группа исследователей из Аргоннской национальной лаборатории Министерства энергетики США разработала новую методику создания и травления тончайших плёнок на поверхности кристаллов. Потенциально это может привести к производству чипов с меньшими масштабами технологических норм, чем сегодня и в ближайшей перспективе. Публикация об исследовании размещена в журнале Chemistry of Materials.

Предложенная методика напоминает традиционный процесс атомно-слоевого осаждения и травления, только вместо неорганических плёнок новая технология создаёт и работает с органическими плёнками. Собственно, по аналогии новая технология названа молекулярно-слоевым осаждением (MLD, molecular layer deposition) и молекулярно-слоевым травлением (MLE, molecular layer etching).

Как и в случае атомно-слоевого травления метод MLE использует газовую обработку в камере поверхности кристалла с плёнками из материала на органической основе. Кристалл циклически обрабатывается двумя разными газами попеременно до тех пор, пока плёнка не истончится до заданной толщины.

Химические процессы при этом подчиняются законам саморегуляции. Это означает, что слой за слоем снимаются равномерно и контролируемо. Если использовать фотошаблоны, на кристалле можно воспроизвести топологию будущего чипа и вытравить рисунок с высочайшей точностью.

← Вернуться на предыдущую страницу

Читайте также:

У Києві внаслідок зіткнення із легковиком загорівся мопед 28 марта 2024

У Києві внаслідок зіткнення із легковиком загорівся мопед. Подробиці і відео Обставини та причини автопригоди встановлять правоохоронці

У Києві чоловік влаштував пожежу в багатоповерхівці - помстився через відключення інтернету 28 марта 2024

Помстився через відключення інтернету: у Києві чоловік влаштував пожежу в багатоповерхівці. Фото Зловмиснику загрожує до десяти років позбавлення волі

Дорофєєва розповіла про проблеми з гормонами 27 марта 2024

Співачка Надя Дорофєєва у своєму Instagram ділиться не лише професійним контентом.

 

Вас могут заинтересовать эти отзывы

Allas Store allasstore.com 5.0
Allas Store allasstore.com

Отзывов: 1

Аристея тур 0.3
Аристея тур

Отзывов: 1

Каталог отзывов





×

Выберите область поиска

  • Авто
  • Одяг / аксесуари
  • Роботодавці
  • Інше