В США разработана новая технология производства нанометровых полупроводников

16 февраля 2020

Дальнейшее развитие микроэлектроники невозможно представить без совершенствования технологий производства полупроводников. Чтобы расширить границы и научиться выпускать всё более мелкие элементы на кристаллах нужны новые технологии и новые инструменты. Одной из таких технологий может стать прорывная разработка американских учёных.

Группа исследователей из Аргоннской национальной лаборатории Министерства энергетики США разработала новую методику создания и травления тончайших плёнок на поверхности кристаллов. Потенциально это может привести к производству чипов с меньшими масштабами технологических норм, чем сегодня и в ближайшей перспективе. Публикация об исследовании размещена в журнале Chemistry of Materials.

Предложенная методика напоминает традиционный процесс атомно-слоевого осаждения и травления, только вместо неорганических плёнок новая технология создаёт и работает с органическими плёнками. Собственно, по аналогии новая технология названа молекулярно-слоевым осаждением (MLD, molecular layer deposition) и молекулярно-слоевым травлением (MLE, molecular layer etching).

Как и в случае атомно-слоевого травления метод MLE использует газовую обработку в камере поверхности кристалла с плёнками из материала на органической основе. Кристалл циклически обрабатывается двумя разными газами попеременно до тех пор, пока плёнка не истончится до заданной толщины.

Химические процессы при этом подчиняются законам саморегуляции. Это означает, что слой за слоем снимаются равномерно и контролируемо. Если использовать фотошаблоны, на кристалле можно воспроизвести топологию будущего чипа и вытравить рисунок с высочайшей точностью.

← Вернуться на предыдущую страницу

Читайте также:

В мережі з'явились цікаві факти про Олену Кравець 27 февраля 2025

48-річна Олена Кравець - відома українська телеведуча і зірка комедійного шоу "95 квартал". З початком великої війни артистка пішла з іменитого шоу, займається подкастом "Вдома поговоримо" разом з 22-річною дочкою Марією і виховує 8-річних двійнят Івана та Катерину.

США перевірять готовність Росії до миру - Рубіо 27 февраля 2025

Наразі погоджено, що команди дипломатів США і РФ обговорять, що потрібно зробити для припинення війни в Україні, зазначив держсекретар США.

Шкідливо й навіть небезпечно для здоров'я: ці чотири речі не можна носити щодня – перевірте гардероб 27 февраля 2025

Мало хто задумується, що деякі улюблені предмети гардеробу не варто носити щодня, адже вони можуть стати причиною проблем зі здоров'ям.

 

Вас могут заинтересовать эти отзывы

Каталог отзывов





×

Выберите область поиска

  • Авто
  • Одяг / аксесуари
  • Роботодавці
  • Інше