Новая технология изготовления контактов вскрыла резервы для «разгона» 7-нм чипов

9 августа 2020

По мере снижения масштаба техпроцесса производства чипов уменьшаются не только размеры транзисторов, но также сопутствующая «инфраструктура», например, диаметр отверстий для создания вертикальных контактов. Такие контакты изготавливаются из вольфрама в процессе металлизации, и их сопротивление растёт по мере уменьшения технологических норм, что снижает производительность и энергоэффективность чипов. Но это удалось обойти.

Установка Applied Materials для металлизации скозных соединенний в вакууме

Установка Applied Materials для металлизации сквозных соединений в условиях вакуума

Резерв вскрыла компания Applied Materials. Дело в том, что современные техпроцессы предполагают осаждение вольфрама из паровой среды на специально подготовленные для этого отверстия металлизации. Перед осаждением (заполнением отверстий вольфрамом) на поверхность чипа и на стенки отверстий в слое диэлектрика наносится слой нитрида титана. Это вещество улучшает «прилипание» вольфрама к стенкам отверстий для вертикальных контактов, защищает кристалл от загрязнения фтором, который используется в техпроцессе осаждения и, наконец, выравнивает стенки отверстий (см. видео процесса ниже).

 

Беда в том, что по мере снижения масштабов техпроцессов толщина слоя нитрида титана не уменьшалась. Так, в рамках 7-нм техпроцесса с диаметром отверстий для сквозной (вертикальной) металлизации 20 нм на вольфрам в контакте остаётся всего 25  % от объёма отверстия. В Applied Materials предложили техпроцесс и установку для создания вертикальных контактов в полном объёме из вольфрама без применения какого-либо предварительного покрытия отверстий.

Новый техпроцесс Applied Materials и машина для металлизации соединений заполняют вольфрамом отверстия в диэлектрике снизу, а не сверху, как раньше (видео ниже). Компания назвала это «выборочным заполнением зазоров». Поскольку для этого используются новые материалы и технологии, защищать кристалл от фтора больше не нужно, как и улучшать прилипание вольфрама к стенкам вертикальных отверстий.

 

По словам Applied Materials, предложенная технология на 40 % снижает сопротивление вертикальных соединений, а ведь в каждой 300-мм кремниевой пластине с чипами проложено до 100 километров таких соединений. Выигрыш от использования новой технологии обещает стать очень и очень внушительным. Когда? Новые установки компания начала поставлять в июле, но крупные производители уже якобы использует это оборудование Applied Materials в крупносерийном производстве.

3dnews

Хочешь узнать больше - читай отзывы

← Вернуться на предыдущую страницу

Читайте также:

Знайомство з казино "Фавбет": отримайте задоволення від гри та 150 фріспінів за реєстрацію! 28 марта 2024

Казино "Фавбет" радо вітає нових гравців і пропонує унікальну можливість від душі насолодитися своїми улюбленими ігровими автоматами з безліччю фріспінів

Що краще – таблетки чи капсули: в чому різниця, як діють 28 марта 2024

Часто в аптеках можна зустріти один засіб, наприклад, ібупрофен, у різних формах: капсулах і таблетках. Водночас капсули зазвичай дорожчі. В чому різниця та що ефективніше?

Продюсер фільму "Пірати Карибського моря" анонсував продовження франшизи 28 марта 2024

Кінець епохи Джонні Деппа? Продюсер фільму "Пірати Карибського моря" анонсував продовження франшизи Кінокомпанія працює над двома майбутніми фільмами-продовженнями

 

Вас могут заинтересовать эти отзывы

Sakramento family club 5.0
Sakramento family club

Отзывов: 1

Альтаір - Altair 0.3
Альтаір - Altair

Отзывов: 1

Каталог отзывов





×

Выберите область поиска

  • Авто
  • Одяг / аксесуари
  • Роботодавці
  • Інше